Фотогальванические элементы Микроэлектромеханические системы Оборудование для производства (литография, нанесение пленок, травление, химико-механическое сглаживание и т.д.) Материалы (полисиликон, электронный газ, фоторезист и т.д. Подсистемы Компоненты Вспомогательные материалы Контроль массового расхода Распределительные системы Кварцевые, графитовые и силиконовые твердосплавные пластины Инструменты для нанесения сетки на пластину Установки для микросварки Автоматизированные системы контроля Сборка и упаковка